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為了滿足某些特殊需要，真空泵中有一類特殊的產品——無油真空泵。它可以在沒有油來起潤滑作用的情況下工作，提供一個更加良好的真空條件。

無油真空泵直聯旋片真空泵，是一種旋片式單級真空泵。用來抽除密封容器中的氣體，以獲取真空的基本設備。它可用于空調，制冷設備的修理，醫療儀器的抽吸裝置，印刷機械，真空包裝，真空吸塑，理化實驗及需要真空環境的小型裝置等各種真空作業用。還可以作為小型的油增壓泵、油擴散泵，分子泵等的前級泵使用。

無油真空泵不適用于抽除對黑色金屬有腐蝕的，對泵油起化學反應的，含有顆粒塵埃的氣體，以及含氧過高，有爆炸性的有毒氣體。更不能作為傳輸泵(即從一個容器抽送到另一個容器)使用。所以說，使用無油真空泵也要分場合，在有需要且適合的情況下才能使用。